《微機電系統(tǒng)設(shè)計及應(yīng)用探究》一書中講述的微機電系統(tǒng)涉及多學(xué)科交叉,具有能夠在狹小空間內(nèi)進行作業(yè)而又不擾亂工作環(huán)境的特點,有著廣泛的應(yīng)用前景。本書結(jié)合當(dāng)前微機電系統(tǒng)的科學(xué)研究,對微機電系統(tǒng)原理和設(shè)計、微細加工技術(shù)、相關(guān)的檢測技術(shù)以及微機電系統(tǒng)的應(yīng)用等內(nèi)容進行了介紹,使讀者對微機電系統(tǒng)的設(shè)計與制造有一個比較完整的了解,為開展微機電系統(tǒng)的研究奠定必要的基礎(chǔ)。

相對于人們對涉及的非傳統(tǒng)物理的理解，MEMS技術(shù)發(fā)展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促進MEMS技術(shù)的提高，才有可能進行微機電系統(tǒng)的設(shè)計和制造，并讓其在現(xiàn)有的和設(shè)想的各個領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。本書是MEMS手冊中的基礎(chǔ)部分，提供有關(guān)MEMS理論和技術(shù)基礎(chǔ)的文獻和參考。書中除了介紹MEMS在微小尺度方面的物理學(xué)、流體力學(xué)、力學(xué)、光學(xué)、電、潤滑，還包含了控制理論、分布式控制及軟計算的內(nèi)容。這些內(nèi)容涉及未來應(yīng)用的各種重要基礎(chǔ)知識，將其應(yīng)用于微傳感器和微執(zhí)行器能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)約能源的有效控制并提高人工裝置性能。