光刻機像質(zhì)檢測技術(shù)是支撐光刻機整機與分系統(tǒng)滿足光刻機分辨率、套刻精度等性能指標要求的關(guān)鍵技術(shù)。本書系統(tǒng)地介紹了光刻機像質(zhì)檢測技術(shù)。介紹了國際主流的光刻機像質(zhì)檢測技術(shù)，詳細介紹了本團隊提出的系列新技術(shù)，涵蓋了光刻膠曝光法、空間像測量法、干涉測量法等檢測技術(shù)，包括初級像質(zhì)參數(shù)、波像差、偏振像差、動態(tài)像差、熱像差等像質(zhì)檢測技

Thisbooksystematicallyintroducesreaderstoadvanceddesigntheoryandmethods,includingprecisemodelingbasedoninversetechniques,rapidstructurecomputation,optimizationd

本書對超聲顯微檢測技術(shù)的一般理論和基礎(chǔ)知識進行簡要介紹，論述了高頻超聲幅度和頻率衰減與掃查成像原理、非線性效應、透鏡式聚焦高頻超聲換能器等，以及材料各向異性、精密尺寸與微小織構(gòu)、涂層厚度與黏結(jié)質(zhì)量、電子封裝與生物組織特性的超聲顯微檢測應用。

本書系統(tǒng)闡述了氣動軟體機器人的相關(guān)理論、方法及其關(guān)鍵技術(shù)。主要內(nèi)容包括軟體機器人的發(fā)展歷程、分類、應用領(lǐng)域、關(guān)鍵技術(shù)，當前軟體機器人研究領(lǐng)域中所關(guān)注的技術(shù)問題，各種氣動軟體驅(qū)動器的結(jié)構(gòu)原理、理論建模和仿真分析，基于氣動軟體驅(qū)動器的軟體末端執(zhí)行器的設(shè)計及特性分析，基于氣動軟體驅(qū)動器的ZJUT多指靈巧手結(jié)構(gòu)設(shè)計、系統(tǒng)建模、

本書主要介紹了基于Vienna整流器的航空高壓直流系統(tǒng)的電能品質(zhì)控制策略，對電網(wǎng)平衡時、不平衡時Vienna整流器的控制策略和工作在連續(xù)導電模式、斷續(xù)導電模式下Buck變換器的控制策略進行了詳細分析。綜合運用開關(guān)表、空間矢量調(diào)制、滯環(huán)控制、滑�？刂频确椒ǎ�分析并確定了電壓利用率對電壓矢量選擇的影響，電網(wǎng)不平衡時Vien

本書圍繞互聯(lián)網(wǎng)中自適應路由服務(wù)定制化問題，將軟件定義思想應用于路由服務(wù)動態(tài)編排，克服由網(wǎng)絡(luò)軟硬件垂直一體化設(shè)計導致路由配置難以靈活且快速地滿足用戶多樣化及個性化通信需求的困難，從引入自適應思想的服務(wù)合成機制、網(wǎng)絡(luò)功能及服務(wù)選擇機制、網(wǎng)絡(luò)功能及服務(wù)部署機制和融入市場因素(計算經(jīng)濟模型)的服務(wù)供給機制四個主要方面進行重點闡

本書回顧了國內(nèi)外聲吶技術(shù)和聲吶系統(tǒng)的發(fā)展歷程，闡述了聲吶系統(tǒng)戰(zhàn)技指標，分析了聲吶方程和聲吶系統(tǒng)組成要素，剖析了聲吶信號產(chǎn)生與發(fā)射、接收調(diào)理、采樣、并行信號處理、環(huán)境模擬等電路的工作原理、相關(guān)理論技術(shù)和工程實現(xiàn)要素，列舉了聲吶系統(tǒng)中典型的時域、頻域與空域濾波算法以及主、被動聲吶信號基本檢測算法。書中給出了翔實的科研案例，

本書以跨域多維大數(shù)據(jù)為主題，提出跨域多維大數(shù)據(jù)管理的系列模型和方法。結(jié)合跨域多維大數(shù)據(jù)在珠海市橫琴新區(qū)的發(fā)展與建設(shè)，對跨域多維大數(shù)據(jù)的基本概念、主要特征、發(fā)展策略進行概括，探討跨域多維大數(shù)據(jù)管理相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)，構(gòu)建跨域多維大數(shù)據(jù)中心和數(shù)據(jù)管理平臺，實踐跨域多維大數(shù)據(jù)應用，并在推廣應用的基礎(chǔ)上形成系列標準規(guī)范。

習近平總書記強調(diào)：“歷史文化是城市的靈魂，要像愛惜自己的生命一樣保護好城市歷史文化遺產(chǎn)�！眹�家的文物保護工作是當今社會的“剛需”，此工作“功在當代、利在千秋”。中國優(yōu)秀的古代建筑是世界文化遺產(chǎn)的瑰寶，蘊含著豐富而珍貴的歷史文化信息。由于中國古代建筑是以木質(zhì)材料為主，易腐、易燃，極易受到自然災害和人為破壞的影響。因此，多

智能生產(chǎn)與服務(wù)網(wǎng)絡(luò)體系和智能產(chǎn)業(yè)元是江蘇省決策咨詢研究基地（江蘇軍民融合發(fā)展研究基地）首席專家、南京航空航天大學技術(shù)經(jīng)濟與創(chuàng)新管理研究所所長譚清美教授，在深入研究“工業(yè)4.0”、“互聯(lián)網(wǎng)+”和“中國制造2025”戰(zhàn)略基礎(chǔ)上，融合產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟和系統(tǒng)科學理論，提出的產(chǎn)業(yè)發(fā)展新理念。本書認為智能生產(chǎn)與服務(wù)網(wǎng)絡(luò)體系是未來主流產(chǎn)業(yè)組