硅微機(jī)械陀螺儀是微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)在慣性?xún)x表領(lǐng)域的一個(gè)重要應(yīng)用，具有體積小、重量輕、成本低、可批量生產(chǎn)、抗沖擊性能好等優(yōu)點(diǎn)，在國(guó)民經(jīng)濟(jì)和國(guó)防軍事領(lǐng)域均有重要的實(shí)用價(jià)值和廣泛的應(yīng)用前景，特別是雙質(zhì)量線(xiàn)振動(dòng)結(jié)構(gòu)形式，更是作為國(guó)內(nèi)外各大科研院所的主要研究對(duì)象。盡管十幾年來(lái)硅微機(jī)械陀螺儀的精度顯著提升，但由于各種因素的限制，其靜態(tài)和動(dòng)態(tài)性能依然無(wú)法滿(mǎn)足中高精度領(lǐng)域的要求，這些因素主要包括：加工誤差引起的陀螺輸出信號(hào)的惡化及漂移；陀螺結(jié)構(gòu)機(jī)械靈敏度和陀螺儀帶寬的矛盾；檢測(cè)模態(tài)動(dòng)態(tài)性能需進(jìn)一步提升；陀螺溫度特性差；等等。為此，作者根據(jù)國(guó)內(nèi)外的最新發(fā)展，并結(jié)合作者多年來(lái)在雙質(zhì)量線(xiàn)振動(dòng)硅微機(jī)械陀螺儀領(lǐng)域的研究和工程實(shí)踐方面的收獲編寫(xiě)此書(shū)。
　　全書(shū)共分7章：第1章為緒論，介紹了硅微機(jī)械陀螺儀的基本概念、特點(diǎn)及應(yīng)用領(lǐng)域，國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀以及本書(shū)的研究目的及意義；第2章為硅微機(jī)械陀螺儀原理及結(jié)構(gòu)，主要介紹了哥氏效應(yīng)、陀螺儀動(dòng)力學(xué)方程、雙質(zhì)量線(xiàn)振動(dòng)陀螺儀全解耦結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及加工技術(shù)；第3章為硅微機(jī)械陀螺儀結(jié)構(gòu)噪聲分析和系統(tǒng)模型，介紹了陀螺儀結(jié)構(gòu)中主要的噪聲，建立了理想的陀螺儀結(jié)構(gòu)機(jī)械系統(tǒng)模型，并研究了基于自動(dòng)增益控制（AGC）技術(shù)的驅(qū)動(dòng)閉環(huán)回路；第4章為雙質(zhì)量線(xiàn)振動(dòng)硅微機(jī)械陀螺儀正交校正技術(shù)研究及優(yōu)化，分析了正交誤差的產(chǎn)生機(jī)理以及抑制的方法和途徑；第5章為雙質(zhì)量線(xiàn)振動(dòng)硅微機(jī)械陀螺儀檢測(cè)閉環(huán)和頻率調(diào)諧技術(shù)研究，提出了雙質(zhì)量線(xiàn)振動(dòng)陀螺儀檢測(cè)模態(tài)傳遞函數(shù)，并設(shè)計(jì)了帶有帶寬拓展功能的閉環(huán)控制器，介紹了頻率調(diào)諧方法；第6章為溫度對(duì)硅微機(jī)械陀螺儀的影響及抑制方法，介紹了溫度模型和溫度控制、溫度補(bǔ)償技術(shù)；第7章為雙質(zhì)量線(xiàn)振動(dòng)硅微機(jī)械陀螺儀測(cè)控電路設(shè)計(jì)及測(cè)試技術(shù)，系統(tǒng)地介紹了陀螺儀測(cè)試方法。
　　本書(shū)是在“九五”、“十五”、“十一五”和“十二五”原總裝備部預(yù)研項(xiàng)目以及國(guó)家自然基金等相關(guān)課題研究工作的基礎(chǔ)上寫(xiě)成的，在此向資助本書(shū)內(nèi)容的機(jī)構(gòu)表示感謝。本書(shū)的主要內(nèi)容是作者在東南大學(xué)儀器科學(xué)與工程學(xué)院微慣性系統(tǒng)及器件研究所，以及在美國(guó)佐治亞理工學(xué)院聯(lián)合培養(yǎng)期間完成的，在此過(guò)程中得到了李宏生教授、Paul Douglas Yoder教授、王壽榮教授、黃麗斌教授、周百令教授、楊波教授、夏敦柱教授等老師的幫助和支持，特別是李宏生教授，對(duì)本書(shū)的研究?jī)?nèi)容做了悉心的指導(dǎo)和大量的修正工作。在本書(shū)的撰寫(xiě)過(guò)程中，殷勇、徐露、倪云舫、王曉雷、陳淑鈴、盛霞、丁徐鍇、劉嘉等同志做了大量有益的工作。在此對(duì)上述同仁表示由衷的感謝。本書(shū)參考或直接引用了國(guó)內(nèi)外一些論文和著作，在此向這些論文和著作的作者表示謝意。最后，特別感謝國(guó)防科技圖書(shū)出版基金對(duì)本書(shū)的資助。
　　本書(shū)涉及多學(xué)科交叉領(lǐng)域，由于作者水平有限，對(duì)于有些領(lǐng)域的研究進(jìn)行得不是很深入，因此，書(shū)中不妥之處在所難免，誠(chéng)懇地希望各位專(zhuān)家和讀者不吝指教和幫助。