本書闡述了低溫等離子體診斷的基本原理與重要技術。從等離子體的基本概念與性質、低溫等離子體的產生方法和等離子體中的基本化學過程，到低溫等離子體的探針診斷技術及其應用、光譜診斷技術及其應用、質譜診斷技術及其應用、離子能量診斷技術及其應用、波干涉診斷技術、等離子體阻抗分析技術及其應用，較全面地介紹了低溫等離子體診斷的基礎知識，總結了該領域近年來的一些新進展，提供了低溫等離子體診斷應用的實例。

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