本書重點介紹微電子制造工藝技術的基本原理、途徑、集成方法與設備。主要內(nèi)容包括集成電路制造工藝、相關設備、新原理技術及工藝集成。本書力求讓學生在了解集成電路制作基本原理與方法的基礎上，緊密地聯(lián)系生產(chǎn)實際，方便地理解這些原本復雜的工藝和流程，從而系統(tǒng)掌握半導體集成電路制造技術。本書內(nèi)容由淺入深，理論聯(lián)系實際，突出應用和基本技能的訓練，教學儀器及實驗室耗材等全部操作均采用案例教學的方式。

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