第1章　薄膜技術(shù)
　1.1　生物計算(bio�瞔omputing)和薄膜技術(shù)
　1.2　醫(yī)用微型機械
　1.3　人工腦的實現(xiàn)（μ�睧lectronics）
　1.4　大型顯示的實現(xiàn)
　1.5　原子操控
　1.6　薄膜技術(shù)概略
　參考文獻
第2章　真空的基礎(chǔ)
　2.1　真空的定義
　2.2　真空的單位
　2.3　氣體的性質(zhì)
　　2.3.1　平均速率 Va
　　2.3.2　分子直徑 δ
　　2.3.3　平均自由程 L 第1章　薄膜技術(shù)
　1.1　生物計算(bio�瞔omputing)和薄膜技術(shù)
　1.2　醫(yī)用微型機械
　1.3　人工腦的實現(xiàn)（μ�睧lectronics）
　1.4　大型顯示的實現(xiàn)
　1.5　原子操控
　1.6　薄膜技術(shù)概略
　參考文獻
第2章　真空的基礎(chǔ)
　2.1　真空的定義
　2.2　真空的單位
　2.3　氣體的性質(zhì)
　　2.3.1　平均速率 Va
　　2.3.2　分子直徑 δ
　　2.3.3　平均自由程 L
　　2.3.4　碰撞頻率 Z
　2.4　氣體的流動和流導(dǎo)
　　2.4.1　孔的流導(dǎo)
　　2.4.2　長管的流導(dǎo) （L/a≥100）
　　2.4.3　短管的流導(dǎo)
　　2.4.4　流導(dǎo)的合成
　2.5　蒸發(fā)速率
　參考文獻
第3章　真空泵和真空測量
　3.1　真空泵
　　3.1.1　油封式旋片機械泵
　　3.1.2　油擴散泵
　　3.1.3　吸附泵
　　3.1.4　濺射離子泵
　　3.1.5　升華泵
　　3.1.6　冷凝泵
　　3.1.7　渦輪泵（分子泵）和復(fù)合渦輪泵
　　3.1.8　干式機械泵
　3.2　真空測量儀器——全壓計
　　3.2.1　熱導(dǎo)型真空計
　　3.2.2　電離真空計——電離規(guī)
　　3.2.3　磁控管真空計
　　3.2.4　蓋斯勒（Geissler）規(guī)管
　　3.2.5　隔膜真空計
　　3.2.6　石英晶振真空計
　　3.2.7　組合式真空規(guī)
　　3.2.8　真空計的安裝方法
　3.3　真空測量儀器——分壓計
　　3.3.1　磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜儀
　　3.3.2　四極質(zhì)譜儀
　　3.3.3　有機物質(zhì)質(zhì)量分析IAMS法
　參考文獻
第4章　真空系統(tǒng)
　4.1　抽氣的原理
　4.2　材料的放氣
　4.3　抽氣時間的推算
　4.4　用于制備薄膜的真空系統(tǒng)
　　4.4.1　殘留氣體
　　4.4.2　用于制備薄膜的真空系統(tǒng)
　4.5　真空檢漏
　　4.5.1　檢漏方法
　　4.5.2　檢漏應(yīng)用實例
　參考文獻
第5章　薄膜基礎(chǔ)
第6章　薄膜的制備方法
第7章　基板
第8章　蒸鍍法
第9章　濺射
第10章 氣相沉積CVD和熱氧化氮化
第11章　刻蝕
第12章　精密電鍍
第13章　平坦化技術(shù)
參考文獻