第1章 緒論 1
1．1 傳感器的概念 1
1．1．1 傳感器的基本組成 1
1．1．2 傳感器的定義 2
1．2 傳感器的分類 2
1．3 傳感器的基本特性 3
1．3．1 傳感器的靜態(tài)特性 4
1．3．2 傳感器的動態(tài)特性相關的數(shù)學
模型 11
1．3．3 傳感器的動態(tài)特性描述 15
1．4 傳感器的標定 20
1．4．1 傳感器的靜態(tài)特性標定 21
1．4．2 傳感器的動態(tài)標定 21
1．5 傳感器技術發(fā)展方向 23
習題 25
第2章 傳感器的功能材料及加工工藝 27
2．1 傳感器使用的材料 27
2．1．1 導體、半導體和電介質(zhì) 28
2．1．2 有機高分子敏感材料 30
2．1．3 磁性材料 30
2．2 傳感器的加工工藝 31
2．2．1 結構型傳感器的加工工藝 31
2．2．2 微機械加工工藝 32
習題 40
第3章 溫敏傳感器 41
3．1 熱學相關基本概念 41
3．1．1 溫標 41
3．1．2 熱力學相關概念 41
3．1．3 溫敏傳感器的分類 42
3．2 熱電偶傳感器 42
3．2．1 熱電效應 42
3．2．2 熱電偶基本定律 44
3．2．3 熱電偶的結構 45
3．2．4 熱電偶冷端溫度誤差及其補償 46
3．2．5 熱電偶實用測量電路 49
3．2．6 熱電偶傳感器應用實例 50
3．3 電阻型溫度傳感器 52
3．3．1 熱電阻 52
3．3．2 熱敏電阻 55
3．3．3 陶瓷半導體熱敏電阻 57
3．3．4 半導體熱電阻溫度傳感器 61
3．3．5 熱敏電阻溫度傳感器的典型
應用 63
3．4 半導體PN結型溫度傳感器 64
3．4．1 溫敏二極管 64
3．4．2 溫敏晶閘管（可控硅） 66
3．4．3 溫敏三極管 68
3．4．4 半導體PN結型溫度傳感器典型
應用 70
習題 71
第4章 力敏傳感器 73
4．1 應變式電阻傳感器 73
4．1．1 電阻應變片的種類 73
4．1．2 金屬電阻應變片 73
4．1．3 半導體應變片 78
4．1．4 電阻應變片的測量電路 79
4．1．5 電阻應變式傳感器應用 83
4．2 壓電式力傳感器 88
4．2．1 壓電效應和壓電材料 88
4．2．2 壓電傳感器的等效電路與測量
線路 91
4．2．3 壓電式傳感器的應用舉例 95
4．2．4 壓電式傳感器的主要性能及其
影響因素 97
4．3 電容力傳感器 99
4．3．1 電容式傳感器特點 99
4．3．2 電容式壓力傳感器 100
4．4 電感式壓力傳感器 102
4．5 諧振式壓力傳感器 104
4．5．1 工作原理和特性 104
4．5．2 諧振式壓力傳感器的特性 104
4．5．3 諧振式壓力傳感器的類型 106
4．6 光纖力學傳感器 108
4．7 其他新型傳感器 110
習題 112
第5章 磁敏傳感器 113
5．1 概述 113
5．2 霍爾元件 114
5．2．1 霍爾效應 115
5．2．2 影響霍爾效應的因素 116
5．2．3 霍爾元件基本結構 117
5．2．4 霍爾元件的基本特性 117
5．2．5 霍爾元件的電磁特性 118
5．2．6 霍爾元件不等位電勢補償 120
5．2．7 霍爾元件溫度補償 120
5．2．8 霍爾式傳感器的應用 123
5．3 半導體磁阻器件 124
5．3．1 磁阻效應 124
5．3．2 磁阻元件 126
5．3．3 磁敏電阻的應用 127
5．4 結型磁敏器件 128
5．4．1 磁敏二極管 128
5．4．2 磁敏三極管 132
5．5 鐵磁性金屬薄膜磁阻元件 136
5．5．1 鐵磁體中的磁阻效應 136
5．5．2 鐵磁薄膜磁敏電阻的結構與
工作原理 136
5．5．3 鐵磁薄膜磁敏電阻的技術性能
及特點 136
5．6 壓磁式傳感器 137
5．6．1 壓磁式傳感器的基本原理 137
5．6．2 壓磁式傳感器的主要特性 138
5．6．3 壓磁式傳感器的應用舉例 139
5．7 新型磁敏傳感器 139
5．7．1 MOS磁敏器件 139
5．7．2 高分辨率磁性旋轉編碼器 140
5．7．3 渦流傳感器 141
5．7．4 韋根德磁敏器件 141
5．7．5 磁通門傳感器 142
習題 143
第6章 光敏傳感器 144
6．1 概述 144
6．1．1 光譜 144
6．1．2 光學傳感器的相關計量單位 145
6．1．3 光源 146
6．2 光電效應傳感器 148
6．2．1 外光電效應及器件 148
6．2．2 內(nèi)光電效應（光電導）及器件 153
6．3 光生伏特效應器件 157
6．3．1 光生伏特效應 157
6．3．2 光電池 158
6．4 光敏二極管 159
6．4．1 結構原理 159
6．4．2 光電二極管應用實例 161
6．5 光敏晶體管 162
6．5．1 光敏晶體管和光敏二極管基本
特性 163
6．5．2 光敏三極管應用實例 164
6．6 色敏光電傳感器 165
6．6．1 雙結型色彩傳感器 165
6．6．2 非晶態(tài)集成色彩傳感器 165
6．6．3 應用實例 166
6．7 光電耦合器件 167
6．7．1 光電耦合器 167
6．7．2 光電開關 167
6．8 紅外熱釋電光敏器件 168
6．8．1 紅外熱釋電光敏效應 168
6．8．2 熱釋電傳感器的結構 169
6．8．3 熱釋電紅外傳感器的應用 170
6．9 固態(tài)圖像傳感器 173
6．9．1 CCD圖像傳感器 173
6．9．2 MOS固態(tài)圖像傳感器 176
6．9．3 CCD與CMOS圖像傳感器的
性能比較 178
6．10 光纖傳感器 179
6．10．1 概述 179
6．10．2 光纖的結構和傳輸原理 180
6．10．3 光纖傳感器 181
習題 185


第7章 聲敏傳感器 186
7．1 聲波的基本性質(zhì) 186
7．1．1 聲壓及其描述 186
7．1．2 聲功率和聲強 187
7．1．3 聲波的反射、折射、透射和
吸收 188
7．2 聲敏傳感器 190
7．2．1 電阻變換型聲敏傳感器 190
7．2．2 壓電聲敏傳感器 191
7．2．3 電容式聲敏傳感器（靜電型） 191
7．2．4 音響傳感器 192
7．3 水聲傳感器 194
7．3．1 水聲傳感器的性能指標 194
7．3．2 水聲傳感器用郎之萬型換能器 196
7．3．3 海底地貌儀 197
7．3．4 多普勒計程儀 198
7．3．5 相關計程儀 198
7．4 超聲波傳感器 199
7．4．1 超聲波及其物理性質(zhì) 199
7．4．2 超聲波對超聲場產(chǎn)生的作用
（效應） 200
7．4．3 超聲波傳感器 201
7．4．4 超聲波傳感器的應用 201
7．5 聲表面波傳感器 204
7．5．1 表面聲波的類型 205
7．5．2 SAW傳感器的結構與工作
原理 209
7．5．3 高分辨率SAW溫度傳感器 210
7．5．4 SAW氣敏傳感器 211
7．5．5 SAW壓力傳感器 212
7．5．6 聲板波傳感器 213
習題 215
第8章 氣敏傳感器 216
8．1 概述 216
8．2 氣敏傳感器的主要參數(shù)與特性 216
8．3 半導體氣敏傳感器 218
8．3．1 電阻型半導體氣敏元件 218
8．3．2 半導體氣敏二極管和MOSFET
氣敏傳感器 228
8．4 固態(tài)電解質(zhì)氣敏傳感器 232
8．5 接觸燃燒式氣敏傳感器 234
8．5．1 檢測原理與結構 234
8．5．2 氣敏特性 235
8．6 新型氣敏傳感器 236
8．6．1 紅外吸收式傳感器 236
8．6．2 熱導率變化式氣敏傳感器 236
8．6．3 氣敏半導體材料吸附機制及
器件 236
8．6．4 氣-磁傳感器 237
8．7 氣敏傳感器的應用 238
8．7．1 家用煤氣、液化石油氣泄漏
報警器 238
8．7．2 自動換氣扇 238
8．7．3 自動抽油煙機 239
8．7．4 酒精檢測報警器 239
8．7．5 缺氧檢測 240
習題 241
第9章 濕敏傳感器 242
9．1 濕度的基本概念 242
9．1．1 相對濕度和絕對濕度 242
9．1．2 露點 242
9．2 濕度傳感器的特性參數(shù) 243
9．3 濕度傳感器的分類 246
9．4 陶瓷式濕度傳感器 246
9．4．1 陶瓷電阻式濕度傳感器 246
9．4．2 陶瓷電容式濕度傳感器 248
9．5 有機物及高分子聚合物濕度
傳感器 249
9．5．1 高分子電阻式濕度傳感器 249
9．5．2 高分子電容式濕度傳感器 251
9．6 半導體結型和MOS型濕度
傳感器 253
9．6．1 濕敏二極管 254
9．6．2 濕敏MOS場效應管 254
9．7 固體電解質(zhì)界限電流式高溫濕度
傳感器 255
9．7．1 固體電解質(zhì)界限電流式濕度
傳感器的結構與工作原理 255
9．7．2 固體電解質(zhì)界限電流式濕度
傳感器的特性 256
9．8 溶性電解質(zhì)濕度傳感器 257
習題 259
第10章 生物傳感器 260
10．1 生物傳感器的基本概念 260
10．2 生物傳感器的特點 261
10．3 生物反應基本知識 261
10．3．1 酶反應 261
10．3．2 微生物反應 263
10．3．3 免疫學反應 264
10．3．4 生物傳感器膜技術和固定化
技術 265
10．3．5 基本電極 268
10．3．6 測量方式 268
10．4 生物傳感器的工作原理及類型 269
10．4．1 酶傳感器及其應用 269
10．4．2 微生物傳感器及其應用 270
10．4．3 免疫傳感器及其應用 270
10．4．4 半導體生物傳感器及其應用 271
10．4．5 組織傳感器 271
10．4．6 細胞傳感器 273
10．4．7 基因芯片 274
習題 275
第11章 傳感器的信號處理 276
11．1 信號測量電路 276
11．1．1 橋電路 276
11．1．2 電阻測量 285
11．1．3 電感測量 286
11．1．4 電容測量及電容檢測電路 287
11．2 信號變換電路 295
11．2．1 電壓―電流變換 296
11．2．2 電流―電壓變換 299
11．3 阻抗匹配/信號放大電路 301
11．3．1 晶體管阻抗匹配器 301
11．3．2 場效應管阻抗匹配器 302
11．3．3 運算放大器阻抗匹配/信號
放大電路 303
11．4 信號分離/濾波電路 306
11．4．1 濾波器的基本知識 306
11．4．2 按頻帶分類的濾波器 308
11．4．3 按逼近方式分類的濾波器 312
11．4．4 按電路組成濾波器 312
習題 314
第12章 傳感器的智能化和網(wǎng)絡化 315
12．1 智能傳感器 315
12．1．1 智能傳感器的結構 315
12．1．2 智能傳感器的功能 315
12．2 智能傳感器的網(wǎng)絡化 317
12．2．1 現(xiàn)場總線智能傳感器 317
12．2．2 基于TCP/IP協(xié)議的網(wǎng)絡化
智能傳感器 320
12．3 無線傳感器網(wǎng)絡的概述 321
12．3．1 無線傳感器網(wǎng)絡的基本概念 321
12．3．2 無線傳感器網(wǎng)絡的特征 322
12．3．3 無線傳感器網(wǎng)絡的發(fā)展 324
12．3．4 無線傳感器網(wǎng)絡的應用 325
12．3．5 無線傳感器網(wǎng)絡所面臨的
挑戰(zhàn) 326
12．3．6 無線傳感器網(wǎng)絡體系結構 327
12．3．7 無線傳感器網(wǎng)絡的系統(tǒng)結構 327
12．3．8 無線傳感器網(wǎng)絡體系結構的
設計要求 329
12．3．9 無線傳感器網(wǎng)絡的關鍵技術 332
習題 338
參考文獻 339